低溫液氮探針臺 LN-4H-06主要是由真空腔體、探針控制、顯微鏡模塊、變溫樣品臺、進(jìn)口分子泵組、全旺程真空規、智能溫控儀等組成。

干式液氦溫區探針臺 LHe-6H-06真空腔體：真空度優(yōu)于6×10-4 Pa。降溫后優(yōu)于6×10-5 Pa。留有2個(gè)用戶(hù)法蘭接口（KF40可接入氣體或者額外的電纜）。

超低震動(dòng)干式液氦光學(xué)液氦低溫恒溫器，使用氣體導熱隔震，實(shí)現樣品臺納米級的機械穩定性。為有效降低環(huán)境震動(dòng)影響，產(chǎn)品設計安裝在光學(xué)隔震平臺上。

室溫自動(dòng)探針臺 TZ-H-06高可靠性探針臺系統，主要應用在半導體/微電子， 電子，機電，物理，化學(xué)，材料，光電，納米，微機電/MEMs，生物芯片等科學(xué)研究領(lǐng)域，以及IC設計/制造/測試/封裝、LED、LCD/OLED、LD/PD、PCB、FPC等生產(chǎn)制造領(lǐng)域。

手動(dòng)探針臺系統可定制手動(dòng)探針臺 系統，整套系統包配置有探針臺主體、顯微鏡、針座、探針線(xiàn)纜、探針等。

SEM納米探針臺產(chǎn)品實(shí)現了三維空間上的準確定位， 它具有分辨率高，尺寸緊湊，行程大，操作簡(jiǎn)單，能在真空下使用等優(yōu)點(diǎn)，可應于SEM真空腔體內完成各種納米精度運動(dòng)操作。