SEM納米探針臺

SEM納米探針臺產(chǎn)品實(shí)現了三維空間上的準確定位， 它具有分辨率高，尺寸緊湊，行程大，操作簡(jiǎn)單，能在真空下使用等優(yōu)點(diǎn)，可應于SEM真空腔體內完成各種納米精度運動(dòng)操作。

SEM納米探針臺產(chǎn)品使用壓電陶瓷驅動(dòng)，運無(wú)需潤滑，百分真空兼容，并可在很廣的溫度范圍內工作。運動(dòng)分辨率達到納米級。步進(jìn)和掃描雙模式工作，在宏觀(guān)行程范圍內達到亞納米分辨率的定位。

三軸探針臺由三個(gè)單軸運動(dòng)臺組合而成。一SEM腔體內可安裝多個(gè)三軸探針臺。平上可安裝電學(xué)探針、光纖探針、納米鑷子、金剛石納米力壓頭、顯微注射器等各類(lèi)操縱和測量頭，實(shí)現微納操縱和測量的目的。

• 結構緊湊，高剛性

• 壓電陶瓷位移平臺具有超長(cháng)使用壽命

• 內部根據需求可增加位置反饋

• 應用：納米材料操縱、納米器件電學(xué)光電等物性測量、生物細胞DNA操作等

• 適配SEM：日本電子、 日立、FEI、 TESCAN等

應用案例：

對二維材料的電學(xué)測量              對器件的電學(xué)測量

對芯片的電學(xué)測量             對一維材料的電學(xué)測量