ZP3-4 微納探針臺

ZP3-4 微納探針臺可在納米尺度上對樣品和測試設備進(jìn)行電學(xué)表征。

ZP3-4 微納探針臺參數

探針數量：4個(gè)探頭，每個(gè)探頭配備一個(gè)三軸探針臂;自由度：每個(gè)探頭獨立驅動(dòng)（X、Y、Z三自由度）;

運動(dòng)：壓電驅動(dòng)；

步進(jìn)速度：2 mm/s（X，Y，Z）；

運動(dòng)范圍：20x20mm（X，Y），10mm（Z）；

運動(dòng)分辨率：1 nm （X、Y），10nm （Z）；

探針規格：針柄直徑為0.51mm（0.020’’）;

產(chǎn)品優(yōu)勢

快速、準確、穩定

ZP3-4微納探針臺包含4個(gè)壓電三軸探針臂，每個(gè)三軸配備1個(gè)可拆卸式電學(xué)探針接口，可在毫米級尺度上進(jìn)行宏觀(guān)運動(dòng)并實(shí)現納米尺度上的微觀(guān)運動(dòng)。

使用場(chǎng)景多樣化

ZP3-4微納探針臺結構緊湊，占用空間小，運動(dòng)行程大，可匹配各種顯微鏡樣品臺，真空室，光學(xué)試驗臺等工作條件。

完善的技術(shù)解決方案

Z P 3 - 4 微 納 探 針 臺 與 尼 康 金 相 顯 微 鏡 / SR-Scopel集成形成的探針臺電學(xué)測量系統，為宏觀(guān)行程上進(jìn)行的微觀(guān)尺度電學(xué)及表征測量提供了具體的解決方案。

直觀(guān)、方便

ZP3-4微納探針臺通過(guò)手柄控制，具有多級宏觀(guān)調速，脈沖運動(dòng)，以及位移微調功能，宏觀(guān)運動(dòng)速度跨度在5um/s~2mm/s，單點(diǎn)脈沖步進(jìn)可達300nm以下，微調運動(dòng)分辨率小于1nm，在顯微鏡下操作更直觀(guān)，方便，準確。

高度集成

ZP3-4微納探針臺電學(xué)測量系統，配備完善的光學(xué)顯微鏡模塊，配備亮度調節，增益和變焦等功能，與電腦連接后，可實(shí)現圖像快照，尺寸測量和標注，視頻記錄等常規功能。