室溫自動(dòng)探針臺 TZ-H-06

室溫自動(dòng)探針臺 TZ-H-06高可靠性探針臺系統，主要應用在半導體/微電子， 電子，機電，物理，化學(xué)，材料，光電，納米，微機電/MEMs，生物芯片等科學(xué)研究領(lǐng)域，以及IC設計/制造/測試/封裝、LED、LCD/OLED、LD/PD、PCB、FPC等生產(chǎn)制造領(lǐng)域。

旨在預算與高測量可靠性之間尋求平衡點(diǎn)，該平臺配備高精度位移臺，可實(shí)現X、Y、Z、 R等方向自動(dòng)調整，各移動(dòng)軸可實(shí)現±0.005mm以下的精度定位，對陣列型測量特征可實(shí)現快速準確的測量。經(jīng)濟實(shí)用，穩定性強，可升級擴展，操作方便是本產(chǎn)品的核心價(jià)值，在各大高校、研究所及半導體行業(yè)應用廣泛。

室溫自動(dòng)探針臺 TZ-H-06特征

1、標配4個(gè)探針臂，可提供4-8個(gè)探針臂。調節范圍50mm*50mm*30mm，調節精度優(yōu)于5um。每個(gè)探針臂配備一根Triax三同軸低漏電線(xiàn)纜及探針。樣品臺底座配備額外一根Triax三同軸低漏電線(xiàn)纜；

2、顯微鏡模塊：連續變倍單筒顯微鏡，光學(xué)放大倍率：0.5X~5.0X（使用1X附加物鏡時(shí)）， 視頻放大倍率約700倍?？蛇x2X附加物鏡。分辨率優(yōu)于2um。全高清數字攝像頭，帶同軸照明和環(huán)形照明，帶機械調焦和光學(xué)調焦；

3、樣品座采用電機驅動(dòng)，可實(shí)現快速于目鏡下尋找樣品，調節范圍：100mm*100mm*15mm*±180°。