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干式液氦溫區探針臺 LHe-6H-06真空腔體:真空度優(yōu)于6×10-4 Pa。降溫后優(yōu)于6×10-5 Pa。留有2個(gè)用戶(hù)法蘭接口(KF40可接入氣體或者額外的電纜)。
超低震動(dòng)干式液氦光學(xué)液氦低溫恒溫器,使用氣體導熱隔震,實(shí)現樣品臺納米級的機械穩定性。為有效降低環(huán)境震動(dòng)影響,產(chǎn)品設計安裝在光學(xué)隔震平臺上。
室溫自動(dòng)探針臺 TZ-H-06高可靠性探針臺系統,主要應用在半導體/微電子, 電子,機電,物理,化學(xué),材料,光電,納米,微機電/MEMs,生物芯片等科學(xué)研究領(lǐng)域,以及IC設計/制造/測試/封裝、LED、LCD/OLED、LD/PD、PCB、FPC等生產(chǎn)制造領(lǐng)域。
手動(dòng)探針臺系統可定制手動(dòng)探針臺 系統,整套系統包配置有探針臺主體、顯微鏡、針座、探針線(xiàn)纜、探針等。
SEM納米探針臺產(chǎn)品實(shí)現了三維空間上的準確定位, 它具有分辨率高,尺寸緊湊,行程大,操作簡(jiǎn)單,能在真空下使用等優(yōu)點(diǎn),可應于SEM真空腔體內完成各種納米精度運動(dòng)操作。
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