透射電子顯微鏡原位加熱/電學(xué)測量系統是在標準外形的透射電鏡樣品桿內安裝MEMS工藝制成的微加熱芯片和電學(xué)測量芯片。微加熱芯片可對樣品進(jìn)行可控溫度的加熱，電學(xué)測量芯片可對樣品進(jìn)行電性質(zhì)測量。并可在進(jìn)行加熱和電學(xué)測量的同時(shí)，動(dòng)態(tài)、高分辨地對樣品的晶體結構、化學(xué)組分、元素價(jià)態(tài)進(jìn)行綜合表征，大大地擴展了透射電子顯微鏡的功能與應用領(lǐng)域。

PicoFemto透射電鏡真空轉移樣品桿

PicoFemto透射電鏡真空轉移樣品桿，樣采用可伸縮的樣品桿端頭設計，從而實(shí)現將樣品從真空室或手套箱的真空環(huán)境下轉移到透射電鏡內的目的，避免樣品被大氣環(huán)境影響。

  樣采用可伸縮的樣品桿端頭設計，從而實(shí)現將樣品從真空室或手套箱的真空環(huán)境下轉移到透射電鏡內的目的，避免樣品被大氣環(huán)境影響。

性能指標：

● 兼容型號電鏡及極靴；

● 保證電鏡原有分辨率；

● 保證電鏡真空度；

● 可選雙傾方案，β方向傾轉角為±25°，同時(shí)受限于極靴。

  本系統硬件包括兩部分，分別是加熱/電學(xué)測量控制器、原位MEMS芯片樣品桿。軟件包括自動(dòng)控溫軟件和自動(dòng)電學(xué)測量軟件。

性能指標：

● 兼容型號電鏡及極靴；

● 保證電鏡原有分辨率；

● 保證電鏡真空度；

● 可選雙傾方案，β方向傾轉角為±25°，同時(shí)受限于極靴。

部分國內用戶(hù)

部分國外用戶(hù)