蔡司 EVO系列掃描電子顯微鏡

蔡司 EVO 系列總述

模塊化的 SEM 平臺適用于直觀(guān)操作、例行檢測和研究應用

蔡司 EVO系列掃描電子顯微鏡將高性能的掃描電鏡和直觀(guān)的、友好的用戶(hù)界面體驗結合在一起， 同時(shí)能夠吸引經(jīng)驗豐富的用戶(hù)以及新用戶(hù)。無(wú)論是在生命科學(xué)， 材料科學(xué)， 或例行的工業(yè)質(zhì)量保證和失效分析領(lǐng)域，憑借廣泛的可選配置， EVO 都可以根據您的要求量身定制。

• 顯微鏡中心或工業(yè)質(zhì)量保證實(shí)驗室的多功能解決方案

• 不同的真空室大小和可滿(mǎn)足所有應用要求的載物臺選項-甚至是大型工業(yè)零部件樣品

• 使用LaB6燈絲，能夠得到優(yōu)異的圖像質(zhì)量

• 對不導電和無(wú)導電涂層的樣品的成像和分析性能出色

• 可以配置多種分析探測器用于滿(mǎn)足各種顯微分析應用的需求

（一）、蔡司 EVO系列掃描電子顯微鏡優(yōu)勢

1. 便捷的可用性

SmartSEM Touch可以通過(guò)使用您的指尖與其進(jìn)行交互式工作流程控制。它簡(jiǎn)單易學(xué)， 大大減少了培訓所付出的努力和成本，甚至新用戶(hù)在幾分鐘內也能夠捕捉令人驚嘆的圖像。此用戶(hù)界面還支持需要自動(dòng)化工作流程以執行可重復檢查任務(wù)的工業(yè)操作員。

2. 優(yōu)異的圖像質(zhì)量

EVO 擅長(cháng)于對未經(jīng)處理和沒(méi)有導電涂層的樣品獲取高質(zhì)量的數據。EVO 還允許樣品保留其原始狀態(tài)， 維持含水和重污染樣品的數據質(zhì)量。此外當成像和微量分析面臨挑戰時(shí)，選用LaB6燈絲則能夠給予更好的分辨率、 對比度和信噪比。

3. EVO 能夠與其它設備相關(guān)聯(lián)

EVO可以作為半自動(dòng)、多模式工作流程的一部分，通過(guò)重新定位感興趣區域，并以多種方式收集數據，形成信息的完整性。將光學(xué)和電子顯微鏡圖像合并起來(lái)進(jìn)行材料表征或零件檢驗，或者將 EVO 與蔡司光學(xué)顯微鏡相關(guān)聯(lián)，進(jìn)行關(guān)聯(lián)顆粒度分析。

4. 適合更多用戶(hù)操作

對于經(jīng)驗豐富的以及新手用戶(hù)操作都很方便。

在實(shí)際的實(shí)驗室環(huán)境中，SEM 的操作通常是顯微鏡專(zhuān)家的專(zhuān)屬領(lǐng)域。但是對于非專(zhuān)家級用戶(hù)來(lái)說(shuō)，操作SEM就變得具有挑戰，比如學(xué)生、受訓者或質(zhì)量工程師，他們往往也需要從 SEM獲取數據。 EVO 則同時(shí)考慮了這兩類(lèi)用戶(hù)的需求，用戶(hù)界面選項既能滿(mǎn)足有經(jīng)驗的顯微鏡專(zhuān)家也能滿(mǎn)足非專(zhuān)業(yè)用戶(hù)的操作需要。

專(zhuān)家用戶(hù)

優(yōu)選用戶(hù)界面: SmartSEM

專(zhuān)家用戶(hù)可以獲取以及設定高級的成像參數和分析功能。

SmartSEM: 為有經(jīng)驗用戶(hù)使用的控制界面

新手用戶(hù)

優(yōu)選用戶(hù)界面: SmartSEM Touch

新手用戶(hù)可以使用預定義的工作流程和常用的一些參數-非常適合初學(xué)者。

SmartSEM Touch: 是一款在觸摸屏電腦上運行的簡(jiǎn)化圖形用戶(hù)界面

5. 智能導航與成像

大大提高樣品的測試效率，以及更多的數據產(chǎn)出。

• 蔡司導航相機

相機可以安裝在倉室前方， 以監測樣品與背散射探測器以及物鏡底端之間的相對位置(倉室相機)；或安裝在真空室倉門(mén)上方 (導航相機)， 利用俯視圖查看樣品臺上樣品的擺放位置。此視圖可用于設置從光學(xué)顯微鏡圖像中識別出的預定義位置， 并在整個(gè)樣品測試過(guò)程中輕松導航。

• 自動(dòng)化智能成像

EVO實(shí)現了對樣品批量自動(dòng)、無(wú)人值守的圖像采集。蔡司自動(dòng)化智能成像非常適合例行檢測。它使用戶(hù)能夠自定義邊界區域，自動(dòng)生成所需的視圖或放大倍數確定的感興趣區域，并開(kāi)始自動(dòng)獲取圖像。自動(dòng)化智能成像將大大提高樣品的測試效率，以及更多的數據產(chǎn)出。

6. 將您的研究提升一個(gè)層次

使用六硼化鑭電子發(fā)射器能夠獲得更好的圖像

六硼化鑭陰極相較于傳統的鎢發(fā)夾燈絲所發(fā)射的電子能夠保證您額外所需要的圖像質(zhì)量。這種優(yōu)勢體現在以下兩個(gè)方面:

• 在相等電子探針尺寸 (即分辨率) 下， 有更多探針電流可供使用， 從而使圖像導航和優(yōu)化更容易。

• 在相等的探針電流 (信噪比) 下， 光斑直徑要小得多， 從而提高了圖像分辨率。

低加速電壓下高放大倍率的催化劑粒子 (上: 使用鎢燈絲； 下: 使用LaB6燈絲)
當在具有挑戰性的成像條件下， 使用LaB6燈絲的用戶(hù)將有高達10倍的光束亮度， 從而提高了圖像分辨率和對比度。

7. EVO 能夠與其它設備相關(guān)聯(lián)

工作流程自動(dòng)化和關(guān)聯(lián)顯微鏡的好處

由于蔡司是各種類(lèi)型顯微鏡和計量系統的優(yōu)秀供應商， 所以您還可以將EVO 與蔡司其它解決方案相結合，使其功能能夠發(fā)揮得更好。

通過(guò)使用Shuttle & Find（蔡司關(guān)聯(lián)顯微鏡的軟硬件部分），您可以在（數碼）光學(xué)顯微鏡和 EVO 之間建立一個(gè)高效的多模式聯(lián)用的工作流程。將光學(xué)顯微鏡光學(xué)對比方法與同樣掃描電鏡成像和分析方法相結合， 獲得互補的數據， 從而更清楚地去了解樣品的材料、質(zhì)量或失效機理。

Shuttle & Find 將EVO、光學(xué)顯微鏡和數碼顯微鏡組成一個(gè)關(guān)聯(lián)的、多模態(tài)工作流程

（二）、蔡司 SmartEDX

用于常規SEM顯微分析應用的一體化EDS解決方案

如果單采用SEM成像技術(shù)無(wú)法全面了解部件或樣品，研究人員就會(huì )借助能譜儀（EDS）來(lái)采集元素化學(xué)成份的空間分布信息。

1. 針對常規顯微分析應用進(jìn)行了優(yōu)化

SEM和EDS的搭配使用必須經(jīng)過(guò)謹慎細致的考量。EVO上的SmartEDX非常適用于常規顯微分析應用，尤其對于數據重復性要求高的客戶(hù)而言更是理想的選擇。它在129 eV能量分辨率和1-5 nA探頭電流（典型的EVO工作條件）下具有很高的通量。得益于氮化硅窗口的優(yōu)異透過(guò)率, SmartEDX更適合于探測到來(lái)自輕元素的低能X射線(xiàn)。

2. 工作流程引導的圖形用戶(hù)界面

SmartEDX旨在提高多用戶(hù)環(huán)境中的易用性和工作流程重復性。與其他蔡司工作流程引導的軟件解決方案（如：SmartSEM Touch，ZEN core或EVO 的Shuttle＆Find）一樣，SmartEDX軟件易于學(xué)習，使用直觀(guān)，并有助于確保在SEM上執行分析任務(wù)的重復性，尤其是在多個(gè)操作者使用該系統的環(huán)境中。

3. 蔡司服務(wù)和系統支持

SmartEDX由蔡司提供支持，因此該EDS解決方案非常適合那些希望精簡(jiǎn)分析設備供應商數量的客戶(hù)。所有安裝、預防性維護、保修、診斷和維修、備件物流以及整個(gè)系統服務(wù)合同中的內容均由蔡司全面負責，為您的SEM分析解決方案提供一站式的的支持。