PicoFemto掃描電鏡SEM納米力測量系統

PicoFemto NI-100 SEM納米力測量將納米壓痕儀集成進(jìn)掃描電鏡中，使用戶(hù)可以在掃描電鏡中進(jìn)行原位納米壓痕研究。該系統由一個(gè)三維壓電驅動(dòng)的樣品臺和一個(gè)納米力測量探針組成。樣品安裝方式靈活多樣，可在三維納米位移臺的驅動(dòng)下，達到超過(guò)5 mm的準確定位，定位分辨率優(yōu)于100 nm，以使待測量區域準確對準力探針。

力探針同樣由壓電驅動(dòng)，在軸向達到100 um的伸縮長(cháng)度，位移分辨率優(yōu)于0.25mm。由力傳感器準確測量所施加的力的載荷，可測拉力和壓力。并有不同的大量程的力傳感器可選配，達到很好的測量效果。通過(guò)搭配電學(xué)、光學(xué)、加熱等模塊，PicoFemto掃描電鏡SEM納米力測量系統還可以實(shí)現包括原位力/熱耦合、力/光耦合、力/電耦合、力/熱/晶體取向耦合等多場(chǎng)耦合研究。

PicoFemto掃描電鏡SEM納米力測量系統基本技術(shù)參數表

部分國內用戶(hù)

部分國外用戶(hù)