掃描電鏡原位氣氛加熱環(huán)境測量系統

掃描電鏡原位氣氛加熱環(huán)境測量系統將MEMS氣氛環(huán)境微腔和加熱模塊集成到掃描電鏡樣品臺上，在掃描電鏡中制造可控的氣氛環(huán)境并且可以對實(shí)驗樣品原位加熱。該系統允許研究者在氣氛環(huán)境中原位、動(dòng)態(tài)、高分辨地對樣品的形貌結構和化學(xué)組分進(jìn)行綜合表征，大大拓展了掃描電鏡的功能與應用領(lǐng)域。該產(chǎn)品可實(shí)現1 Bar & 800 ℃的觀(guān)測條件，使研究者可以在掃描電鏡中實(shí)時(shí)觀(guān)測催化反應、氧化還原反應、低維材料生長(cháng)/合成以及各類(lèi)腐蝕反應，將您的掃描電鏡從一臺靜態(tài)成像工具升級為一套功能強大的納米實(shí)驗室。

掃描電鏡原位氣氛加熱環(huán)境測量系統性能指標
 

氣體流動(dòng)指標：

● 三通道混氣；

● 氣壓范圍：0 - 1 Bar；

● 氣壓準確度：30 mBar；

● 氣體流速： 0.01 - 0.4 ml/min；

● 可通氣體：H2, N2, O2, He, Ar, CO, CO2, CxHy等；

● 軟件控制。

掃描電鏡指標：

● 兼容類(lèi)型電鏡；

● 保證電鏡原有真空度；

● MEMS反應微腔指標：

● 高質(zhì)量氮化硅膜厚度30 nm；

● 樣品漂移優(yōu)于0.7 nm/min。

熱學(xué)指標：

● 溫度范圍：室溫至800 ℃；

● 溫度準確度：優(yōu)于5%； 

● 溫度穩定性：優(yōu)于±0.1 ℃；

● 四電極加熱，帶溫度反饋；

● 軟件控制。

部分國內用戶(hù)

部分國外用戶(hù)