PicoFemto原位MEMS-STM-TEM多場(chǎng)測量系統

PicoFemto原位MEMS-STM-TEM多場(chǎng)測量系統是原位透射電子顯微鏡實(shí)驗系統，使研究者可以在透射電子顯微鏡中構建一個(gè)可控的多場(chǎng)環(huán)境（包括力、熱、光、電等），從而對材料或者器件等樣品實(shí)現多重激勵下的原位表征。 

PicoFemto原位MEMS-STM-TEM多場(chǎng)測量系統性能指標

 透射電鏡指標：

● 兼容電鏡型號及極靴；

● 可選雙傾版本，雙傾電學(xué)測量樣品桿Y軸傾角±25°（同時(shí)受限于極靴間距）；

電學(xué)測量指標：

● 包含一個(gè)電流電壓測試單元；

● 電流測量范圍：１ nA-30 mA，9個(gè)量程；

● 電流分辨率：優(yōu)于100 fA；

● 電壓輸出范圍：普通模式±10 V，高壓模式±150 V；

● 自動(dòng)電流-電壓（I-V）測量、電流-時(shí)間（I-t）測量，自動(dòng)保存。

掃描探針操縱指標：

● 粗調范圍：XY方向2.5 mm，Z方向1.5 mm；

● 細調范圍：XY方向18 um，Z方向1.5 um；

● 細調分辨率：XY方向0.4 nm，Z方向0.04 nm。

光纖指標：

● 多模光纖外徑250 um，保證電鏡系統真空指標；

● 可選光纖探針、平頭光纖；

● 配備快速SMA接頭、FC接頭；

加熱指標：

● 溫度范圍：室溫到1000 ℃；

● 溫度準確度優(yōu)于 5% ；

● 溫度穩定性：優(yōu)于±0.1 ℃。

應用場(chǎng)景

 可通過(guò)簡(jiǎn)單更換MEMS芯片種類(lèi)以及不同STM探針為樣品施加至多四種激勵，實(shí)現多種復雜的測試功能，完成以往無(wú)法實(shí)現的研究。

（1）高溫拉伸/壓縮（加熱芯片+電學(xué)STM探針）；

（2）熱電子發(fā)射/場(chǎng)發(fā)射（加熱芯片+電學(xué)STM探針）；

（3）三端器件測量（電學(xué)芯片+電學(xué)STM探針）；

（4）電致發(fā)光現象研究（電學(xué)芯片+光學(xué)STM探針）；

（5）光電現象研究（電學(xué)芯片+光學(xué)STM探針）。

產(chǎn)品特色

穩定性高

輕松獲得大幅度運動(dòng)中的高分辨像，適用于更廣泛的應用場(chǎng)景和樣品體系。

很長(cháng)的壽命

很低維護成本

設備配套的針尖制備系統可低成本制備針尖耗材。"爪-球“微動(dòng)結構已實(shí)現模塊化量產(chǎn)，維護成本低。

很大的用戶(hù)群

在國內擁有近200個(gè)高質(zhì)量原位用戶(hù)，出口到歐美澳等地。每年，用戶(hù)會(huì )產(chǎn)出大量高質(zhì)量研究成果。定期組織各類(lèi)用戶(hù)交流活動(dòng)，搭建學(xué)術(shù)平臺供用戶(hù)交流。

成熟的技術(shù)支持網(wǎng)絡(luò )

在安徽、北京、東莞和上海擁有分公司，其他各地擁有若干技術(shù)支持網(wǎng)點(diǎn)，24小時(shí)提供技術(shù)支持。

部分國內用戶(hù)

部分國外用戶(hù)