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TECHNICAL ARTICLESSensofar共聚焦白光干涉儀|測量原理
Sensofar共聚焦白光干涉儀雖然一開(kāi)始作為高性能 3D 光學(xué)輪廓儀設計,但是我們的某些系統所有現有的光學(xué)輪廓儀,集所有技術(shù)于一身。
Sensofar共聚焦白光干涉儀條紋投影非常適合大面積測量,垂直 精度和可重復性高,系統噪聲低。
我們的Sensofar共聚焦白光儀系統采用不同光學(xué)測量技術(shù)進(jìn)行工作,一部分系統采用組合技術(shù)。聚集這些技術(shù)的優(yōu)點(diǎn),外加技術(shù)和操作軟件,成就市場(chǎng)上競爭力的高級測量設備。
采用 Sensofar 的四合一法 – 正如 S neox 系統那樣 – 在軟件中單擊一次就可將系統切換到適合當前任務(wù)的技術(shù)
S neox 傳感器頭采用 4 種測量技術(shù) – Ai 多焦面疊加、共聚焦、干涉 & 光譜反射 – 因此每種技術(shù)都是實(shí)現系統通用性的重要因素,有利于減少數據采集時(shí)不希望發(fā)生的缺陷,同時(shí)提供 Sensofar 的表面測量性能。
技術(shù)
Sensofar共聚焦白光干涉儀的系統采用微顯示掃描技術(shù)。
微顯示以硅基鐵電體液晶 (FLCoS) 技術(shù)為基礎,打造沒(méi)有運動(dòng)零件的快速切換裝置,
使共聚焦圖像掃描快速、可靠、精確。微顯示器結合高分辨率掃描臺和可更換物鏡,
構成了一套靈活的光學(xué)系統。
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