Sensofar共聚焦白光干涉儀|多焦面疊加

主動(dòng)照明多焦面疊加是一種為了測量粗糙的表面形狀而開(kāi)發(fā)的光學(xué)技術(shù)。這項技術(shù)基于 Sensofar 在共聚焦和干涉 3D 測量領(lǐng)域的廣泛專(zhuān)業(yè)知識，專(zhuān)門(mén)設計用于補充低放大率下的測量

BACKGROUND

Sensofar共聚焦白光干涉儀|多焦面疊加原理

主動(dòng)照明多焦面疊加技術(shù)利用了明場(chǎng)中存在景深的特點(diǎn)，

樣品只有在的特定 z 范圍中對焦。 景深會(huì )根據物鏡的數值孔徑或光源波長(cháng)而變化。

Z 高度的值是根據圖像的高對比度（清晰度或微小細節）來(lái)計算的

從而得出正確的對焦位置。