PicoFemto透射電鏡原位MEMS氣氛加熱測量

PicoFemto透射電鏡原位MEMS氣氛加熱測量系統，在透射電子顯微鏡中制造氣氛及高溫環(huán)境，實(shí)現1 Bar & 800 ℃的端觀(guān)測條件。

PicoFemto透射電鏡原位MEMS氣氛加熱測量系統，在透射電子顯微鏡中制造氣氛及高溫環(huán)境，實(shí)現1 Bar & 800 ℃的端觀(guān)測條件。該系統使研究者可以在原子尺度上實(shí)時(shí)觀(guān)測催化反應、氧化還原反應、低維材料生長(cháng)/合成以及各類(lèi)腐蝕反應，將您的透射電鏡從一臺靜態(tài)成像工具升級為一套功能強大的納米實(shí)驗室。
        系統組成：

① 原位氣氛環(huán)境樣品桿：由樣品桿主體、氣流通道、四電極加熱模塊和MEMS反應微腔組成。樣品被安置于上下兩片MEMS芯片以及配套的O圈組成的密封微腔內。
② 真空檢漏系統：由進(jìn)口分子泵組、高真空腔體和高倍顯微鏡組成。用于實(shí)驗前驗證MEMS反應微腔密封情況，確保在TEM中抽真空后不會(huì )有氣體泄漏。
③ MEMS反應微腔：由上下兩片MEMS芯片組成，用于搭載實(shí)驗樣品。樣品觀(guān)測區域覆蓋有高質(zhì)量、高透過(guò)率的氮化硅薄膜窗口，窗口上覆蓋有四電極加熱區域，樣品搭載在加熱電極上。該MEMS反應微腔與外接氣路通道以及加熱模塊高度耦合，從而在TEM中實(shí)現氣氛環(huán)境與高溫環(huán)境準確可控的原位觀(guān)測。
④ 氣氛環(huán)境控制箱：由三通道混氣模塊、渦輪真空泵、氣壓控制模塊、氣流控制模塊及配套附件組成。用于在實(shí)驗中準確、穩定地控制MEMS反應微腔中的氣氛環(huán)境，控制微反應腔中的氣壓及氣體流速。
⑤ 高性能PC及配套控制軟件：該系統中的加熱及氣氛環(huán)境均為軟件控制，多種工作模式可選，功能強大，方便易用。
⑥ 溫控儀：用于控制MEMS反應微腔中的溫度，四個(gè)電極通道，帶溫度反饋。
⑦ 樣品桿載具、裝樣附件及其他工具。

性能指標
 

透射電鏡指標：

● 兼容型號電鏡及極靴；

● 通氣后透射電子顯微鏡分辨率優(yōu)于0.1 nm。

加熱指標：

● 溫度范圍：室溫至800 ℃；

● 溫度準確度：優(yōu)于5% ；

● 溫度穩定性：優(yōu)于±0.1 ℃；

● 四電極加熱，帶溫度反饋；

● 軟件控制。

氣體流動(dòng)指標：

● 三通道混氣

● 氣壓范圍：0 - 1 Bar；

● 氣壓準確度：30 mBar；

● 氣體流速： 0.01 - 0.4 ml/min；

● 可通氣體：H2, N2, O2, He, Ar, CO, CO2, CxHy等；

● 軟件控制。

MEMS反應微腔指標：

● 高質(zhì)量氮化硅膜厚度25 nm；

● 樣品漂移優(yōu)于0.7 nm/min。

部分國內用戶(hù)

部分國外用戶(hù)