奧林巴斯正置式材料顯微鏡BX53

為工業(yè)和材料學(xué)應用而設計

奧林巴斯正置式材料顯微鏡BX53采用了模塊化設計，為廣泛的材料學(xué)和工業(yè)應用提供了多樣化的解決方案。BX3M增強了與奧林巴斯Stream軟件的集成性，從而為常規顯微鏡檢查和數碼成像用戶(hù)提供了從觀(guān)察到報告創(chuàng )建的無(wú)縫工作流程。

高級的顯微觀(guān)察 便捷的顯微操作

用戶(hù)友好性

·讓傳統技術(shù)易于操作：簡(jiǎn)單的照明器

·直觀(guān)的顯微鏡控制：視場(chǎng)光闌和孔徑光闌的簡(jiǎn)單設置

·快速找到焦點(diǎn)：對焦刻度標尺

·一致的照明：智能光強管理

·方便而人性化的操作

·可恢復顯微鏡設置：編碼硬件

·基本測量功能

奧林巴斯正置式材料顯微鏡BX53功能性

·讓未見(jiàn)變?yōu)榭梢?jiàn)：MIX觀(guān)察

·創(chuàng )建超景深圖像：EFI

·輕松移動(dòng)載物臺即可進(jìn)行全景拍攝：即時(shí)MIA

·同時(shí)捕捉高光和暗調區域的細節：HDR

·可調整滿(mǎn)足觀(guān)察和分析的偏好要求

·容納各類(lèi)樣品

精密的光學(xué)元件

·優(yōu)良的光學(xué)性能：波像差控制

·穩定的色溫和高強度白光LED照明

·支持精密測量：自動(dòng)校準

·無(wú)縫拼接：圖像陰影校正

全面可定制性

·可滿(mǎn)足用戶(hù)要求的各種配置

·模塊化設計，構建自己的系統

直觀(guān)的顯微鏡控制

顯微檢查任務(wù)常常需要用很長(cháng)的時(shí)間來(lái)調節顯微鏡設置、獲取圖像，以及進(jìn)行必要的測量，從而得到令人滿(mǎn)意的報告。用戶(hù)有時(shí)需要投入時(shí)間和金錢(qián)去完成專(zhuān)業(yè)的顯微鏡培訓，或只了解了顯微鏡全部功能的很小部分就開(kāi)展工作。

奧林巴斯工業(yè)顯微鏡BX53M通過(guò)其優(yōu)良的設計和便捷的控制功能，簡(jiǎn)化了復雜的顯微檢查任務(wù)。用戶(hù)不需要長(cháng)時(shí)間的培訓即可掌握顯微鏡的大多數功能。BX53M方便而舒適的操作還改善了圖像的再現性，大程度減少了人為錯誤。

讓傳統技術(shù)易于操作：簡(jiǎn)單的照明器

照明器的設計大程度減少了顯微鏡操作過(guò)程中所必須的復雜操作。照明器前端的旋鈕使用戶(hù)能夠輕松地改變觀(guān)察方法。操作者可以在反射光顯微鏡檢查時(shí)快速切換常用的觀(guān)察方法，比如從明場(chǎng)觀(guān)察到暗場(chǎng)觀(guān)察，到偏光觀(guān)察，以隨時(shí)改變不同類(lèi)型的分析。此外，可以旋轉檢偏鏡來(lái)實(shí)現簡(jiǎn)單偏光觀(guān)察的調節。

操作者能夠在經(jīng)常使用的觀(guān)察方法之間快速切換（AlSi的拋光態(tài)樣品）

直觀(guān)的顯微鏡控制：視場(chǎng)光闌和孔徑光闌的簡(jiǎn)單設置

使用正確的孔徑光闌和視場(chǎng)光闌設置能夠獲得良好的圖像對比度，還可以充分利用物鏡的數值孔徑。指示標志可引導用戶(hù)根據觀(guān)察方法和所用物鏡進(jìn)行正確的設置。

快速找到焦點(diǎn)：對焦刻度標尺

機架上的對焦刻度標尺可以讓操作者快速鎖定焦點(diǎn)。操作者不用通過(guò)目鏡查看樣品就可以大致地對準焦點(diǎn)，從而在檢查具有不同高度的樣品時(shí)節省了時(shí)間。

一致的照明：智能光強管理

在初始設定時(shí)，可以調節照明強度，使其與編碼照明器和/或編碼物鏡轉換器的特定硬件配置匹配。

傳統的光強

傳統顯微鏡中，提高了放大倍率，以及使用需要更多光線(xiàn)的觀(guān)察方法后，圖像會(huì )變得更暗。

智能光強管理

改變放大倍率或觀(guān)察方法時(shí)，顯微鏡自動(dòng)調節光強到正確值。

方便而人性化的操作

人性化設計對所有用戶(hù)都至關(guān)重要。無(wú)論是單機顯微鏡用戶(hù)，還是集成了奧林巴斯Stream圖像分析軟件的顯微鏡系統用戶(hù)，都能得益于可以清晰顯示顯微鏡編碼型硬件位置的人性化操作設計的手動(dòng)控制器。簡(jiǎn)單的手動(dòng)開(kāi)關(guān)讓用戶(hù)能夠專(zhuān)注于樣品和檢查工作本身。

可恢復顯微鏡設置：編碼硬件

BX53M采用了新的編碼功能，將顯微鏡的硬件設置與奧林巴斯Stream圖像分析軟件整合在一起。觀(guān)察方法、照明強度和物鏡位置全都記錄在軟件和/或手動(dòng)控制器里。編碼功能可實(shí)現顯微鏡設置與每幅圖像一起自動(dòng)保存，從而可輕松完成此后的還原設置，以及為報表提供文檔記錄。既節省了操作者的時(shí)間，又大程度地減小了使用不正確設置的概率。當前的觀(guān)察設置總是清晰地顯示在手動(dòng)控制器和軟件上。

針對各種檢查和分析任務(wù)的功能

BX53M保留了常規顯微鏡檢查的傳統襯度對比法，比如明場(chǎng)、暗場(chǎng)、偏光和微分干涉。隨著(zhù)新材料的發(fā)展，現在可以使用的顯微鏡檢查技術(shù)來(lái)進(jìn)行更精確和更可靠的檢查，從而解決了以往很多使用傳統襯度對比法檢查時(shí)遇到的缺陷檢測方面的困難。新的照明技術(shù)和奧林巴斯Stream圖像分析軟件內的圖像獲取選項為用戶(hù)提供了評估樣品、文檔記錄的更多選擇。

此外，BX53M還可用于比傳統型號更大、更重、更特殊的樣品。

MIX觀(guān)察：讓未見(jiàn)變?yōu)榭梢?jiàn)

BX53M的MIX觀(guān)察技術(shù)組合了明場(chǎng)和暗場(chǎng)照明方法。MIX照明滑塊中的LED光源，以定向暗場(chǎng)光線(xiàn)照射樣品。這種方式類(lèi)似于傳統暗場(chǎng)照明，但又可為L(cháng)ED的不同角度光線(xiàn)照射提供四分象限選擇功能。這種定向暗場(chǎng)與明場(chǎng)、熒光、或偏光的組合稱(chēng)為MIX照明，有助于突出顯示缺陷和區分隆起與凹陷表面。

傳統的

明場(chǎng)將光線(xiàn)直接照射在樣品上，暗場(chǎng)則使光線(xiàn)沿物鏡的周?chē)鷱膫让嬲丈錁悠?，突出顯示了劃痕和缺陷。

MIX

MIX觀(guān)察是通過(guò)一個(gè)環(huán)形LED光源來(lái)形成明場(chǎng)、熒光或偏光與定向暗場(chǎng)的組合?？梢哉{節LED光源，選擇從哪個(gè)方向進(jìn)行照明。該方法可在傳統方法無(wú)法觀(guān)察的表面上獲得對比度并可突出表面特征。

即時(shí)MIA：輕松移動(dòng)載物臺即可進(jìn)行全景拍攝

現在不需要電動(dòng)載物臺，僅僅移動(dòng)手動(dòng)載物臺上XY旋鈕即可方便而快捷地拼接圖像。奧林巴斯Stream軟件采用圖案識別技術(shù)來(lái)生成全景圖像，為用戶(hù)提供了比單一畫(huà)面更廣闊的視野。

一枚硬幣的即時(shí)MIA圖像。

EFI：創(chuàng )建超景深圖像

奧林巴斯Stream軟件的景深擴展成像（EFI）功能能夠獲取高度超過(guò)物鏡焦深的樣品圖像，把通過(guò)不同焦面的圖像疊加在一起，創(chuàng )建出一幅超景深圖像?？梢允褂檬謩?dòng)或電動(dòng)Z軸機構來(lái)執行EFI，并可創(chuàng )建一幅高度圖，以輕松地識別樣品結構。也可以用Stream桌面版在離線(xiàn)時(shí)創(chuàng )建EFI圖像。

HDR：同時(shí)捕捉高光和暗調區域的細節

高動(dòng)態(tài)范圍（HDR）使用了的圖像處理技術(shù)，能夠針對一幅圖像內的亮度差異進(jìn)行調節，從而減少了眩光。HDR改善了數字圖像的視覺(jué)效果，從而為用戶(hù)制作報告時(shí)提供專(zhuān)業(yè)的圖像。

借助HDR功能，同時(shí)清晰呈現出高光和暗調區域的細節
（樣品：燃油噴射器）

借助HDR功能，增強了對比度
（樣品：鎂切片）

3D測量

使用外部電動(dòng)對焦機構時(shí)，可以快速獲取EFI圖像，并以3D視圖顯示。獲取的高度數據可用于剖面上的3D測量，或通過(guò)單視圖進(jìn)行3D測量。

容納各類(lèi)樣品

可以容納更多的樣品類(lèi)型和尺寸

新型150×100mm載物臺在X方向上提供了比以前的型號更大的行程。再加上其載物臺板的平板式設計，可以輕松地將大樣品，或多個(gè)樣品放置在載物臺上。載物臺板上開(kāi)有小孔，可用于固定樣品架。更大的載物臺為用戶(hù)提供了靈活性，使他們能夠在一臺顯微鏡上檢查更多的樣品，從而節省了寶貴的實(shí)驗室空間?？烧{節扭力的載物臺方便了高倍下窄視野的微調定位。

樣品高度和重量的高適應性

BX53MRF-S

使用選配的模塊組件可以將高105mm的樣品放置在載物臺上。由于改進(jìn)了調焦機構，因此顯微鏡可以容納最重6kg的總重量（樣品+載物臺）。這就意味著(zhù)BX3M可以檢查更大、更重的樣品，從而減少了實(shí)驗室內所需的顯微鏡數量。通過(guò)戰略性地將用于6英寸晶圓的旋轉托架放置在偏離中心的位置，在100mm行程范圍內移動(dòng)時(shí)，用戶(hù)僅旋轉晶圓托架即可觀(guān)察整個(gè)晶圓表面。優(yōu)化了載物臺的扭力調節，以便于使用，舒適的手柄使用戶(hù)更易于找到樣品的感興趣區域。

樣品尺寸大小的靈活性

BXFM

如果樣品太大，難以放置在常規顯微鏡載物臺上，則可以把用于反射光顯微鏡觀(guān)察的核心光學(xué)部件組裝到一個(gè)模塊化的系統里。這種模塊化系統，就是BXFM，它可以通過(guò)一個(gè)支撐桿安裝在更大的支架上，或使用安裝托架安裝在另一臺儀器上。這就使用戶(hù)能夠充分利用奧林巴斯優(yōu)異的光學(xué)元件的優(yōu)勢，即使其樣品在尺寸或形狀上都很好。

兼容ESD：保護電子裝置，防止受到靜電放電的影響

BX3M具有ESD靜電消除能力，防止電子裝置受到由人為或環(huán)境因素而導致的靜電的影響。

悠久歷史的光學(xué)技術(shù)

奧林巴斯公司擁有高品質(zhì)光學(xué)儀器研發(fā)的悠久歷史，創(chuàng )造了多項光學(xué)質(zhì)量的記錄，保證了顯微鏡優(yōu)異的測量精度。

光學(xué)性能：波像差控制

使用顯微鏡進(jìn)行高級研究或系統集成時(shí)，所有物鏡的光學(xué)性能必須標準化。奧林巴斯的UIS2物鏡提供了波像差控制，大程度減小了會(huì )降低分辨率的像差，從而獲得數值孔徑（NA）和工作距離（WD）性能指標。

穩定的色溫和高強度白光LED照明

BX3M為反射光和透射光照明提供了高強度的白光LED光源。無(wú)論強度是多少，LED都保持著(zhù)一致的色溫。LED提供了高效而長(cháng)壽命的照明，是材料學(xué)檢測應用的理想工具。

支持精密測量：自動(dòng)校準

類(lèi)似于數碼顯微鏡，使用奧林巴斯Stream軟件時(shí)也能夠實(shí)施自動(dòng)校準。自動(dòng)校準消除了校準過(guò)程中的人為變化因素，能夠獲得更可靠的測量結果。自動(dòng)校準的算法采用多個(gè)測量點(diǎn)的平均值來(lái)自動(dòng)計算正確的校準量。這就大程度減小了不同操作者產(chǎn)生的差異，保持了一致的精確性，提高了定期驗證的可靠性。

應用

反射光顯微鏡檢查涵蓋的應用和行業(yè)非常廣泛，下面僅選擇了使用不同觀(guān)察方法效果的部分示例。

暗場(chǎng)觀(guān)察

暗場(chǎng)能夠觀(guān)察標本上的散射或衍射光。任何不平整的部位都會(huì )反射這種光，而平整的部位則顯得很暗，因此缺陷部位就會(huì )清晰地顯示出來(lái)。用戶(hù)甚至可以識別出極細微的劃痕，或小到8nm級別的缺陷 – 比光學(xué)顯微鏡的分辨能力還要小。因此，暗場(chǎng)是檢測標本上細微劃痕或缺陷，以及鏡面標本（包括晶圓）的理想工具。

表面貼裝基板：DF

微分干涉觀(guān)察

微分干涉是一種顯微鏡觀(guān)察技術(shù)，這種技術(shù)把明場(chǎng)觀(guān)察所不能檢測到的標本高度差，變?yōu)楦〉駹罨蛉S圖像，改善了圖像襯度。該技術(shù)使用了偏光，并有三種專(zhuān)門(mén)定制設計的棱鏡可以選擇。它是檢查具有極細微高度差的標本的理想工具，包括金相組織、礦石、磁頭、硬盤(pán)介質(zhì)和拋光晶圓表面。

球墨鑄鐵檢測：DIC

偏光觀(guān)察

這種顯微鏡觀(guān)察技術(shù)使用了由一套濾色片（檢偏鏡和起偏鏡）產(chǎn)生的偏光。標本的特性直接影響顯微鏡反射光的強度。這種技術(shù)適用于金相組織（比如球墨鑄鐵上石墨生長(cháng)的形態(tài)）、礦石、LCD和半導體材料。

絹云母：POL