Sensofar 5軸空間3D共聚焦白光干涉輪廓儀

Sensofar 5軸空間3D共聚焦白光干涉輪廓儀結合了高精度旋轉模塊和S neox 3D光學(xué)輪廓儀的檢測和分析功能在位置上實(shí)現全自動(dòng)地3D表面測量，并結合在一起，完成全表面的3D立體測量。S neox 3D測量技術(shù)涵蓋了廣泛的尺度，包括輪廓變化（多焦面疊加技術(shù))、亞納米粗糙度（干涉測量技術(shù)）或需要更高橫向分辨率以及垂直分辨率（共聚焦技術(shù)）的臨界尺寸。

Sensofar 5軸空間3D共聚焦白光干涉輪廓儀特點(diǎn)：

1、涵蓋了廣泛的三維測量尺度

S neox 3D測量技術(shù)涵蓋了廣泛的尺度，包括輪廓變化（多焦面疊加技術(shù))、亞納米粗糙度（干涉測量技術(shù)）或需要更高橫向分辨率以及垂直分辨率（共聚焦技術(shù)）的臨界尺寸。

2、應用范圍廣泛

S neox Five Axis可以在位置進(jìn)行全自動(dòng)3D表面測量，并將所有測量結果組合在一起，完成全表面的3D立體測量。

3、完整的3D測量

S neox Five Axis能夠旋轉樣品,在圓周上相同高度的位置測量一系列3D形貌。SensoFIVE 軟件合并相同高度的一系列單個(gè)3D形貌信息，得到高精度的環(huán)形樣品表面的精確3D表面。然后合并不同的高度，系統可以在尖銳邊緣和關(guān)鍵表面上提供完整的形狀信息。

4、連接相鄰表面：測量大于90o的角度

測量包含陡角的復雜曲面非常困難，因為陰影效應會(huì )阻止您在單次采集中獲得完整的測量結果。有必要傾斜樣品以便從兩個(gè)不同的位置測量樣品并將兩個(gè)形貌結果組合以獲得完整的測量結果。Five Axis旋轉臺允許樣品沿相反方向定位以使整個(gè)表面可見(jiàn)。系統將獲取單獨的測量值，然后，將自動(dòng)合并它們以獲得完整的3D立體測量。

5、多自由度測量無(wú)限制

通過(guò)自動(dòng)化程序，只需單擊一下即可測量樣品的不同部分。友好的用戶(hù)界面允許您在沒(méi)有任何約束的情況下找到測量位置。然后關(guān)注樣品的關(guān)鍵部分并將其添加到自動(dòng)化例程中。最后
點(diǎn)擊"獲取"，只需單擊一下即可獲得所有測量部件。這是一種自動(dòng)化測量程序的快速簡(jiǎn)便方法。

6、表面光潔度測量：準確可靠

我們的共聚焦和干涉測量技術(shù)允許您測量具有任何級別的粗糙表面，從極粗糙（典型的鋼材表面）到大約1A的高反射表面 (金剛石或鏡面)。根據NPL、NIST和PTB粗糙度標準，將我們的系統轉換為重復且可追溯的系統。多焦面疊加技術(shù)使系統對測量大坡度提供了快速、簡(jiǎn)便地響應。

7、高精度5軸旋轉平臺

Five Axis旋轉平臺有高精度電動(dòng)旋轉A軸和360o無(wú)限旋轉、1弧秒定位重復性、和電動(dòng)B軸、-30o至110o、0.5弧分定位精度、帶限位開(kāi)關(guān)組成。還配備了System3R夾緊系統。

8、豐富的支架和夾頭

各種支架和夾頭。根據樣品，可提供不同類(lèi)型的支架。對于旋轉樣品，夾頭支架（可根據要求提供多種選擇）帶有十五個(gè)夾頭，而其他夾頭則為扁平夾具。它還包括平面鏡和校準樣品的校準包。

9、均勻的環(huán)形燈增強照明

為獲取均勻的照明，配置環(huán)形燈照明輔助。環(huán)形燈采用LED照明，以均勻有效的方式照射樣品。它安裝在物鏡的上方和周?chē)?，環(huán)形燈為共焦和多焦面疊加技術(shù)提供增強的信號。這確保了焦平面處的適當照明。

1、明場(chǎng)

其他可選物鏡: 水浸物鏡、超長(cháng)工作距離物鏡、加長(cháng)工作距離物鏡、焦深調節環(huán)物鏡 1大視場(chǎng)系 2/3" 攝像頭及光學(xué) 0.5X。 2表面的像素大小。 3 L&S:線(xiàn)條和空間，根據瑞利準則計算半衍射極限。藍光波長(cháng)。 4根據比較連續兩次在垂直于光軸的校準鏡片得到的差異計算系統噪音值。 5在光滑的表面上，在粗糙表面上可達86o。

2、干涉

其他可選物鏡: 可變反射率，Michelson、Mirau 及Linnik 1大視場(chǎng)系 2/3" 攝像頭及光學(xué) 0.5X。 2表面的像素大小。 3 L&S:線(xiàn)條和空間，根據瑞利準則計算半衍射極限。藍光波長(cháng)。 4 對于干涉物鏡，10μm掃描范圍。   5根據比較連續兩次在垂直于光軸的校準鏡片得到的差異計算系統噪音值。對于 PSI，防震開(kāi)啟，10 個(gè)相位平均值?？販胤块g，壓電平臺掃描儀實(shí)現0.01nm。 6在光滑的表面上，在粗糙表面上可達86o。