Sensofar經(jīng)濟型三維共聚焦白光干涉輪廓儀

一、產(chǎn)品概述——緊湊、靈活、強大

Sensofar經(jīng)濟型三維共聚焦白光干涉輪廓儀是款為工業(yè)和研究所設計的全新非接觸式3D表面光學(xué)輪廓儀，用于工業(yè)和科研應用，其設計定位是個(gè)緊湊和靈活的系統。它設計簡(jiǎn)潔、用途多樣。光學(xué)輪廓儀Slynx能夠測量不同的材質(zhì)，結構，表面粗糙度和波度，幾乎涵蓋所有類(lèi)型的表面形貌。它的多功能性能夠滿(mǎn)足廣泛的形貌,測量應用。Sensofar的核心是將3種測量方式融于體，確保了其性能。配合SensoSCAN軟件系統，用戶(hù)將獲得難以置信的直觀(guān)操作體驗。

SENSOFAR公司作為干涉共焦顯微鏡，開(kāi)創(chuàng )性地將共聚焦和干涉技術(shù)結合在起，無(wú)需插拔任何硬件就可以在軟件內自動(dòng)實(shí)現共聚焦、白光干涉和相位差干涉模式的切換。使客戶(hù)無(wú)需花費高昂的費用就能同時(shí)擁有共聚焦顯微鏡和干涉儀。

SENSOFAR在1999年創(chuàng )立之初，就是以三維表面形貌測量為主要研發(fā)方向，通過(guò)持續不斷地研發(fā)和申請利技術(shù)，在范圍內創(chuàng )造了數百種表面形貌測量應用產(chǎn)品，積累了豐富的技術(shù)實(shí)力。

二、Sensofar經(jīng)濟型三維共聚焦白光干涉輪廓儀主要應用

半導體晶圓應用、汽車(chē)零部件、消費電子、能源、材料表面、微電子、LED、微體古生物學(xué)、光學(xué)鏡片加工、模具加工、鐘表制造、腐蝕表面結構、摩擦學(xué)表面結構。

三、主要特點(diǎn)及功能

1） 共聚焦

共聚焦技術(shù)可以用來(lái)測量各類(lèi)樣品表面的形貌。它比光學(xué)顯微鏡有更高的橫向分辨率,可達0.10um。利用它可實(shí)現臨界尺寸的測量。當用150倍、0.95數值孔徑的鏡頭時(shí)，共聚焦在光滑表面測量斜率達70°（粗糙表面達86°）。利的共聚焦算法保證Z軸測量重復性在納米范疇。

2） 干涉

白光垂直掃描干涉（VSI）是種廣泛用于測量表面特性（如形貌或透明薄膜結構）的功能強大的技術(shù)。它適合測量從光滑到適度粗糙的表面，無(wú)論物鏡的NA或者放大倍數變化，均可以提供納米的垂直分辨率。

3） 多焦面疊加

多焦面疊加技術(shù)是用來(lái)測量非常粗糙的表面形貌。根據Sensofar在共聚焦和干涉技術(shù)融合應用方面的豐富經(jīng)驗，特別設計了此功能來(lái)補足低倍共聚焦測量的需要。該技術(shù)的大亮點(diǎn)是快速(mm/s)、掃描范圍大和支援斜率大（大86°）。此功能對工件和模具測量特別有用。

4） 真彩色共聚焦圖像

每個(gè)像素點(diǎn)都能還原真實(shí)的色彩，在掃描時(shí)紅、綠、藍三色LED交替照明，并將三張單色的圖片還原成一幅高分辨率的彩色圖像。相比其他品牌采用像素插值算法，用這種技術(shù)獲得的圖片色彩保真度和還原性更勝。

四、主要優(yōu)勢：

1） 實(shí)時(shí)圖像    

SENSOSCAN為您呈現共聚焦實(shí)時(shí)圖像。我們的圖像質(zhì)量和速度進(jìn)一步提升，在共聚焦照明模式下可達9幀/秒，在明場(chǎng)照明模式下高達30幀/秒。與此同時(shí)，還有多種實(shí)時(shí)圖像模式選擇。

2） 豐富的參數設定

通過(guò)調整參數可優(yōu)化測量步驟。例如，優(yōu)化自動(dòng)對焦設定能夠減少測量時(shí)間，采用多級的照明和優(yōu)化掃描范圍可觀(guān)察復雜的3D形貌。優(yōu)化后的測量參數可存儲為單點(diǎn)（SMR）或多點(diǎn)（MMR）程序測量。

3） 一鍵3D測量  

用戶(hù)只需找到測量位置 ， 點(diǎn)擊3D測量按鈕，SensoSCAN的軟件將自動(dòng)調整照明亮度，自動(dòng)對焦，執行較佳的測量模式，將精準的測量結果于彈指間為您呈現。

4） 交互式的3D和2D視圖提供多樣的分析      

演示及渲染選項。內置測量軟件有測量尺寸，角度，距離，直徑，標注特性等功能。因此，SensoSCAN是一款解決各種分析任務(wù)的理想軟件。您還可選擇以下兩套高階軟件來(lái)完成更復雜的分析SensoMAP和SensoPRO。

5） 進(jìn)階分析

更豐富的進(jìn)階分析功能可進(jìn)行數據補償，形狀去除（平面，球形，不規則形狀），濾波分析，剪裁和提取輪廓等。用戶(hù)可生成分析模版保證分析的連續性和一致性。