Sensofar 推出其最為先進(jìn)的 3D 光學(xué)輪廓儀：PLu neox

PLu neox是Sensofar 最為先進(jìn)的光學(xué)輪廓儀?；谝幌盗谐晒Φ腜Lu 光學(xué)輪廓儀產(chǎn)品，PLu neox 結合了共聚焦掃描、相位差干涉、白光干涉與分光光度計，能最為廣泛地應用于3D 和薄膜測量技術(shù)。這一強大的功能結合能實(shí)現對技術(shù)表面以精細至小于0.1 納米的垂直分辨率進(jìn)行2D 和3D 分析，測量斜率超過(guò)70 度的光滑表面以及分辨率小于1 納米的薄膜測量。

此外，Sensofar 還加入了其的掃描微顯示技術(shù)，能實(shí)現每秒多達12.5 張共聚焦圖像的快速共聚焦掃描。改進(jìn)的共聚焦和干涉算法能實(shí)現高達800 微米/秒的垂直掃描速度，以及5 秒之內的典型測量時(shí)間（包含計算時(shí)間）。PLu neox包含了兩種垂直掃描儀：能實(shí)現精至0.01 納米高分辨率3D 測量的Piezo 支架掃描儀，和能實(shí)現超過(guò)40 毫米測量范圍的大型垂直掃描儀。PLu neox擁有自動(dòng)化的XY 軸掃描平臺，能處理大至500 mm2 的樣本。另可選擇超過(guò)50 種放大倍率從2.5x 到200x 的尼康物鏡，應用范圍。

工具操作和程序創(chuàng )建通過(guò)SensoSCAN 軟件執行。SensoSCAN軟件包含一套完整的2D 和3D 數據分析和查看工具?；贒igital Surf 的Mountains 軟件技術(shù)，SensoMAP 用于高級鑒定和數據報告，能提供直觀(guān)先進(jìn)的分析軟件，擁有各種視圖、表面控制器和國際統一表面標準。

Sensofar 團隊在PLu neox中集成了先進(jìn)的光學(xué)和技術(shù)，創(chuàng )建了強大的3D 輪廓儀和薄膜分析工具，能夠應對各種各樣的表面測量應用。

Sensofar 在接下來(lái)的數月內將在各大展覽中展示PLu neox。