Sensofar共聚焦白光干涉儀對透鏡、微透鏡陣列測量分析

眾所*，光學(xué)應(yīng)用是一個具有挑戰(zhàn)性的應(yīng)用：樣品非常光滑、平坦，有時是透明的。只有*端輪廓儀才能對其進(jìn)行成像，并滿足該領(lǐng)域的嚴(yán)格要求。我們對透鏡和濾光片的經(jīng)驗在于器件粗糙度、微透鏡陣列和薄膜厚度的測量。

微透鏡陣列

球面透鏡

球面透鏡具有更簡單的設(shè)計和更低的制造成本，應(yīng)用范圍廣泛。

可以分析尺寸和Sa、Sq和Sz粗糙度參數(shù)。

非球面透鏡

以其較小的像差而著稱，非球面透鏡適用于光學(xué)設(shè)計，有極少的元件會尋求更好的性能。

可以分析曲率半徑，尺寸和10個非球面變形系數(shù)以及Sa、Sq和Sz粗糙度參數(shù)。

相機(jī)鏡頭

可以在我們的軟件SensoVIEW中執(zhí)行量測區(qū)域的體積計算。

 SensoVIEW分析軟件對不同尺寸的孔具有非常高的靈敏度（該樣品的d=2mm）。

多邊形透鏡

六邊形微透鏡是透鏡微陣列中使用的典型幾何結(jié)構(gòu)，它們因其高密度而引人注目。