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技術(shù)文章
TECHNICAL ARTICLESSensofar共聚焦白光干涉儀 | 光譜反射技術(shù)
光譜反射能快速、精確、無(wú)損地測量薄膜,且無(wú)需制備任何樣本。
透明層沉積在表面上時(shí),其反射率會(huì )變化。該系統獲取可見(jiàn)范圍內樣本的反射光譜,并與軟件計算的模擬光譜進(jìn)行比較,對層厚進(jìn)行修改,直到找到匹配的厚度。對于薄膜,厚度與光波長(cháng)類(lèi)似,我們沿著(zhù)光譜獲得波浪狀的反射率響應。
主要特征
從 50 nm 到 1.5 μm 厚的透明薄膜可在不到 5 秒的時(shí)間內測得
從 50 nm 到 1.5 μm 厚的透明薄膜
不到 5 秒內采集
一個(gè)物鏡可覆蓋 整個(gè) 范圍
不同光斑大小 (3.5 μm 到 40 μm)
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